(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222215344.7 (22)申请日 2022.08.23 (73)专利权人 深圳市方达 研磨技术有限公司 地址 518000 广东省深圳市光明区公明街 道上村社区元山工业区B区第34栋 202、 (B区)270 0033号101 (72)发明人 胡敬祥　邱祥文　王选　胡旭南　 (74)专利代理 机构 深圳市查策知识产权代理事 务所(普通 合伙) 44527 专利代理师 曾令安 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 3/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种立式晶圆加工减薄机 (57)摘要 本实用新型提供的一种立式晶圆加工减薄 机， 涉及立式晶圆加工减薄机技术领域,包括： 防 护外壳， 所述防护外壳的内壁底部固定安装有传 感控制器， 启动高压气泵， 就会抽取空气进入初 级腔内， 膜片在压缩空气 的作用下发生弯曲， 空 气进入二级腔内， 然后膜片进行收缩， 进入二级 腔内的空气束快速离开发声头， 反复震动， 再经 过扩声筒进行放大， 形成低频高能声波， 通过空 气介质把声能传递到相应的积灰点， 由于声波振 荡的反复作用， 施加于灰、 渣的挤压达到一定的 循环应力次数时， 灰、 渣的结构因疲劳而破坏， 从 而达到清灰的作用， 这样就解决了现有技术中装 置使用传感控制器对设备进行加工的工作， 导致 不能完全去除设备内部的污渍， 还会造成设备损 坏的问题。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 218039119 U 2022.12.13 CN 218039119 U 1.一种立式晶圆加工减薄机， 其特征在于： 包括： 防护外壳(1)， 所述防护外壳(1)的内 壁底部固定安装有传感控制器(2)， 所述传感控制器(2)的内部开设有两个初 级腔(3)， 所述 传感控制器(2)的内壁底部固定安装有两个矩形块(4)， 两个矩形块(4)的顶部之间固定安 装有膜片(5)， 所述传感控制器(2)的外壁一侧开设有进气口(6)， 所述进气口(6)的输出端 固定连通有高压气泵(7)， 所述高压气泵(7)的输入端固定联通有进气管(8)， 且进气管(8) 的输入端贯穿防护外壳(1)的外壁一侧， 所述传感控制器(2)的顶部固定连通有二级腔(9)， 所述二级腔(9)的顶部固定安装有珐琅盘(10)， 且通过珐琅盘(10)固定安装有扩声筒(11)， 所述扩声 筒(11)的顶部固定安装有圆筒(12)。 2.根据权利要求1所述的一种立式晶圆加工减薄机， 其特征在于： 所述防护外壳(1)的 外壁一侧固定安装有加工液箱(13)， 所述加 工液箱(13)的输出端固定连通有水泵(14)， 所 述水泵(14)的输出端固定连通有出 液管(15)。 3.根据权利要求2所述的一种立式晶圆加工减薄机， 其特征在于： 所述加工液箱(13)的 顶部开设有 进液端(16)， 所述进液端(16)的顶部活动套设有第一顶盖(17)。 4.根据权利要求1所述的一种立式晶圆加工减薄机， 其特征在于： 所述防护外壳(1)和 圆筒(12)的外壁一侧均开设有出水端(18)， 所述出水端(18)的外表 壁活动套设有第二顶盖 (19)。 5.根据权利要求1所述的一种立式晶圆加工减薄机， 其特征在于： 所述防护外壳(1)的 外壁两侧均固定安装有把手(20)。 6.根据权利要求1所述的一种立式晶圆加工减薄机， 其特征在于： 所述防护外壳(1)的 底部固定安装有四个橡胶支腿(21)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218039119 U 2一种立式晶圆加工减薄机 技术领域 [0001]本实用新型涉及立式晶圆加工减薄机技术领域， 尤其涉及一种立式晶圆加工减薄 机。 背景技术 [0002]立式晶圆加工减薄机的功能是用于主要用于蓝宝石衬底、 硅片、 陶瓷片、 光学玻 璃、 石英晶体、 其它半导体材 料等非金属 和金属的硬脆 性材料薄形精密零件。 [0003]传统立式晶圆加工减薄机在使用一段时间后会造成堵塞， 从而影响设备的正常使 用， 所以隔一段时间就需要对立式晶圆加工减薄机进行加工工作， 而现有的立式晶圆加工 减薄机的工作都是利用传感器智能控制， 同时立式晶圆加工减薄机在作业的过程中， 由于 工作频率高， 很容 易对设备造成损坏。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中装置使用传感控制器对设备进行加工 的工作， 导 致不能完全去除设备内部的污 渍， 还会造成设备损坏的问题。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技术方案： 一种立式晶圆加工减薄机， 包括： 防护外壳， 所述防护外壳的内壁底部固定安装有传感控制器， 所述传感控制器的内部 开设有两个初级腔， 所述传感控制 器的内壁底部固定安装有两个矩形块， 两个矩形块的顶 部之间固定安装有膜片， 所述传感控制器的外壁一侧 开设有进气口， 所述进气口的输出端 固定连通有高压气泵， 所述高压气泵的输入端固定联通有进气管， 且进气管 的输入端贯穿 防护外壳的外壁一侧， 所述声波请灰器的顶部固定连通有二级腔， 所述二级腔的顶部固定 安装有珐琅盘， 且通过珐琅盘固定安装有扩声筒， 所述扩声筒的顶部固定安装有圆筒， 传感 控制器是以压缩空气作为声波或次声波的能源， 启动高压气泵， 就会抽取外部的空气进入 初级腔内， 膜片在压缩空气的作用下发生弯曲， 空气由此进入二级腔内， 然后膜片进行收 缩， 进入二级腔内的空气束快速离开发声头， 反复震动， 再经过扩声筒进行放大， 形成低频 高能声波， 通过空气介质把声能传递到相应的积灰点， 使声波对灰渣起到 “声致疲劳 ”的作 用， 由于声波振荡 的反复作用， 施加于灰、 渣的挤压循环变化的载荷， 达到一定的循环应力 次数时， 灰、 渣的结构因疲劳而破坏， 然后由水将灰渣清除出附着体表面， 从而达到清灰 的 作用。 [0006]优选的， 所述防护外壳的外壁一侧固定安装有加工液箱， 所述加工液箱的输出端 固定连通有 水泵， 所述水泵的输出端固定连通有 出液管， 便于给装置加注加工液， 以便能更 好的对装置进行加工 。 [0007]优选的， 所述加工液箱的顶部开设有进液端， 所述进液端的顶部活动套设有第一 顶盖， 便于加注加工液。 [0008]优选的， 所述防护外壳和圆筒的外壁一侧均开设有出水端， 所述出水端的外表壁 活动套设有第二顶盖， 便 于排出脏水。说　明　书 1/3 页 3 CN 218039119 U 3