(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221072986.X (22)申请日 2022.05.07 (73)专利权人 大连地拓 重工有限公司 地址 116000 辽宁省大连市普 兰店区海 湾 工业区振兴街16号 (72)发明人 马跃　孙乐　高景作　 (51)Int.Cl. F16F 15/027(2006.01) F16F 15/08(2006.01) (54)实用新型名称 一种基于悬架的主动防微振基座 (57)摘要 本实用新型提供了一种基于悬架的主动防 微振基座， 包括支撑板、 支架和支腿， 其特征在 于， 所述支架包括顶板， 所述顶板左右两侧分别 连接有左挡板和右挡板， 所述顶板后侧连接有后 挡板， 所述后挡板底部垂直连接有底板， 所述支 撑板与支架的底板栓接固定， 所述支腿安装在顶 板底部， 所述支腿包括外壳， 所述外壳内设有主 气室， 所述主气室顶部连接有活塞， 所述活塞内 部设有支撑杆， 所述支撑杆顶部连接有支撑座， 所述支撑杆底部连接有阻尼气 囊， 所述阻尼气 囊 内设有阻尼气室， 所述阻尼气 囊顶部开设有阻尼 气孔， 所述外壳顶部连接有位移传感器， 所述外 壳一侧连接有控制器。 本实用新型通过支撑板、 支撑架与支腿的悬架式组合结构， 降低了设备重 心。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217207505 U 2022.08.16 CN 217207505 U 1.一种基于悬架 的主动防微振基座， 包括支撑板、 支架和支腿， 其特征在于， 所述支架 包括顶板， 所述顶板左右两侧分别连接有左挡板和右挡板， 所述顶板后侧连接有后挡板， 所 述后挡板底部垂直连接有底板， 所述支撑板与支架的底板栓接固定， 所述支腿安装在顶板 底部， 所述支腿包括外壳， 所述外壳内设有主气室， 所述主气室顶部连接有活塞， 所述活塞 内部设有支撑杆， 所述支撑杆顶部连接有支撑座， 所述支撑杆底部连接有阻尼气囊， 所述阻 尼气囊内设有阻尼气室， 所述阻尼气囊顶部开设有阻尼气孔， 所述外壳顶部连接有位移传 感器， 所述外壳一侧连接有控制器。 2.根据权利要求1所述的一种基于悬架的主动防微振基座， 其特征在于， 所述支撑板与 底板之间还安装有垫 板， 所述垫 板为橡胶板 。 3.根据权利要求1所述的一种基于悬架的主动防微振基座， 其特征在于， 所述支撑板为 不锈钢板， 所述支撑 板的四个角分别开设有四个固定孔A。 4.根据权利要求1所述的一种基于悬架的主动防微振基座， 其特征在于， 所述支架由不 锈钢板制成。 5.根据权利要求1所述的一种基于悬架 的主动防微振基座， 其特征在于， 所述左挡板、 右挡板均呈梯形 结构。 6.根据权利要求1所述的一种基于悬架 的主动防微振基座， 其特征在于， 所述顶板、 后 挡板和底板均呈矩形 结构。 7.根据权利要求1所述的一种基于悬架的主动防微振基座， 其特征在于， 所述底板的四 个角均开设有固定孔B。 8.根据权利要求1所述的一种基于悬架的主动防微振基座， 其特征在于， 所述外 壳呈圆 柱形， 所述外壳的外侧下 方开设有 进气孔， 所述进气孔上安装有气动阀。 9.根据权利要求1所述的一种基于悬架的主动防微振基座， 其特征在于， 所述支撑杆与 阻尼气囊之间还连接有垫片， 所述垫片为橡胶垫片。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217207505 U 2一种基于悬架的主动防微振基座 技术领域 [0001]本实用新型 涉及隔振 装置技术领域， 具体是一种基于悬架的主动防微振基座。 背景技术 [0002]目前半导体行业飞速发展， 半导体生产设备的精度要求越来越高， 设备对微振动 等环境的要求也越来越敏感， 少许的微振动就会降低设备 的产出良率， 甚至使设备不能正 常工作， 因此对微振动的隔离变得越来越重要。 [0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度 与超精密加工装备制 造精度的关键因素之一， 高性能精密 隔微振技术成为精密工程、 超精 密制造等领域的一项核心关键技术， 对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。 有 一些特殊的精密仪器其重心较高， 采用传统的隔振基座会使得设备 的重心进一步提高， 不 利于设备的稳定运行。 实用新型内容 [0004]实用新型的目的在于提供一种基于悬架的主动防微振基座， 以解决上述背景技术 中存在的问题。 [0005]本实用新型的技 术方案是这样实现的： [0006]一种基于悬架的主动防微振基座， 包括支撑板、 支架和支腿， 所述支架包括顶板， 所述顶板左右两侧分别连接有左挡板和右挡板， 所述顶板后侧连接有后挡板， 所述后挡板 底部垂直连接有底板， 所述支撑板与 支架的底板栓接固定， 所述支腿安装在顶板底部， 所述 支腿包括外壳， 所述外壳内设有主气室， 所述主气室顶部连接有活塞， 所述活塞内部 设有支 撑杆， 所述支撑杆顶部连接有支撑座， 所述支撑杆底部连接有阻尼气囊， 所述阻尼气囊内设 有阻尼气室， 所述阻尼气囊顶部开设有阻尼气孔， 所述外壳顶部连接有位移传感器， 所述外 壳一侧连接有控制器。 [0007]进一步地， 所述支撑 板与底板之间还安装有垫 板， 所述垫 板为橡胶板 。 [0008]进一步地， 所述支撑板为不锈钢板， 所述支撑板 的四个角分别开设有四个固定孔 A。 [0009]进一步地， 所述支 架由不锈钢板制成。 [0010]进一步地， 所述左挡板、 右挡板均呈梯形 结构。 [0011]进一步地， 所述顶板、 后挡板和底板均呈矩形 结构。 [0012]进一步地， 所述底板的四个角均开设有固定孔B。 [0013]进一步地， 所述外壳呈圆柱形， 所述外壳的外侧下方开设有进气孔， 所述进气孔上 安装有气动阀。 [0014]进一步地， 所述支撑杆与阻尼气囊之间还连接有垫片， 所述垫片为橡胶垫片。 [0015]本实用新型的有益效果 为： [0016]本实用新型通过支撑板、 支撑架与支腿的悬架式组合结构， 降低了设备重心， 提高说　明　书 1/3 页 3 CN 217207505 U 3