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ICS 71.040.40 GB CCS G 04 中华人民共和国国家标准 GB/T 42543—2023/ISO11775:2015 表面化学分析扫描探针显微术 悬臂梁法向弹性常数的测定 Surface chemical analysis-Scanning probe microscopyDetermination of cantilever normal spring constants (ISO 11775:2015,IDT) 2023-05-23 发布 2023-09-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T 42543—2023/ISO11775:2015 目 次 前言 III 引言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 符号和缩略语 5 基本信息 5.1 背景信息 5.2AFM法向弹性常数的测定方法 6尺寸分析法测定kz 6.1 概述 6.2天 利用三维几何信息使用公式计算k, 6.3 使用平面尺寸和共振频率计算无探针针尖矩形悬臂梁的kz 7静态实验法来测定kz 7.1 概述 7.2 使用参考悬臂梁的静态实验法 7.3 使用纳米压痕仪的静态实验法· 12 7.4 测量方法 14 8动态实验法测定kz 15 8.1 概述 15 8.2 使用AFM热振动的动态实验法 15 附录A(资料性) 实验室间和实验室内AFM悬臂梁测试比较 18 A.1概述和目的 18 A.2实验室内结果 18 A.3 实验室间结果 19 A.4 结论 20 参考文献 21

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